銷售經理:戴經理
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公司地址:山東省濰坊市高新區(qū)金馬路一號歐龍科技園
匠心于行,品質看得見
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高精度、高分辨率控制
低功率(功率大小取決于配氣路數(shù))
各路 MFC 集成 20 種基礎氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體(20 種基礎氣體種類按比例混合)
數(shù)字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
寬流量量程范圍
無需預熱
無安裝方向限制
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快
自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃
內部閉環(huán)控制,具有高穩(wěn)定性
小封裝尺寸
稀釋比:最高 1000:1(更高稀釋比建議咨詢廠家)
各路 MFC 滿量程精度:±0.2%
各路 MFC 讀取精度:±0.8%
各路 MFC 可重復性:±0.2%FS
各路 MFC 響應時間:<100ms(調節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應時間),數(shù)字式設計簡介
動態(tài)稀釋儀內部配置了高精度質 量流量控制器(MFC),各路 MFC 標配高精度傳
感器和數(shù)字電路,數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質量流量控制器采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環(huán)境監(jiān)測設備
微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD)
氣體發(fā)生器
配氣混氣系
流量控制 ---可實現(xiàn)高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。
獨立使用 ---無需連接任何設備,可通過屏幕完成大部分功能操作。
多種量程選擇 ---根據(jù)稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm,最大量程 50slpm 可選。
內置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內置 20 種基本氣體,氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據(jù)使用需求,自定義混合氣。
電氣接口 ---標準配置 1 個 AC220V 三項插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信與內部 MFC 進行通信。
標準 Modbus-RTU ---RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。
1.運行參數(shù)
各路 MFC 讀數(shù)精度 ±0.8% Rdg
各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS
各路 MFC 重復性 <±0.2% FS
各路 MFC 零點漂移和滿量程漂移 <±0.02% FS/℃/Atm
稀釋比 1000:1
各路 MFC 典型響應時間 <100 毫秒(可調節(jié) PID 參數(shù)達到更短時間)
各路 MFC 啟動預熱時間 <1 秒
各路 MFC 標準工況 20℃&101.325kPa(標準工況溫度可通過 RS485 調整)
各路耐壓 1 MPa
安裝方向要求 無
電氣參數(shù) 工作電壓 AC 220V±15%
功率 取決于配氣儀路數(shù)
數(shù)字控制信號 RS-485 Modbus-RTU
電信號接口 AC220V 三項插座
2.物理參數(shù)
各路 MFC 閥門 比例閥(常閉)
各路 MFC 通過介質 干燥氣體
各路 MFC 工作溫度 0-50℃
各路 MFC 傳感器溫度補償范圍 0-50℃
各路 MFC 工作濕度 0-100%(非冷凝)
存儲溫度 -40~85℃
各路 MFC 泄漏率 <0.020sccm He (壓差 150psi)
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